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Product CategoryEVG501-晶圓鍵合機(jī)基本功能:用于學(xué)術(shù)和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)?;竟δ埽河糜趯W(xué)術(shù)和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。
EVG820-層壓系統(tǒng) EVG鍵合機(jī) 用于將任何類型的干膠膜自動,無應(yīng)力地層壓到載體晶片上。這項(xiàng)*的層壓技術(shù)可對卷筒上的膠帶進(jìn)行打孔,然后將其對齊并層壓到晶圓上。
EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機(jī) 全自動的臨時鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))可在一個自動化工具中實(shí)現(xiàn)整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設(shè)備晶圓與載體晶圓的對準(zhǔn)和鍵合開始。
EVG 510-晶圓鍵合機(jī) 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。
EVG850 DB-自動解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)) 經(jīng)過處理的臨時鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機(jī)械剝離。
EVG 510-晶圓鍵合系統(tǒng)(EVG鍵合機(jī)) 是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。