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晶圓表面缺陷檢測是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的一步，直接影響到芯片的性能、可靠性和良品率。隨著集成電路（IC）技術(shù)的不斷進步，晶圓尺寸的不斷縮小，缺陷檢測的難度也隨之增加。因此，精準、快速的晶圓表面缺陷檢測技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的研究熱點...
光刻技術(shù)與我們的生活息息相關(guān)，我們用的手機，電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品，里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個信息社會，各種各樣的信息流在世界流動。而光刻機是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。光刻機的技術(shù)原理：光刻機就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻機的作用，類似照相機照相。照相機拍攝...
一、特點固有振動頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動運動中消除能量、以減輕振動的特點。固有振動頻率與地基振動的振動頻率比（f/fn）稱作振動傳遞率，是判定隔振效果的標準。固有振動頻率愈小、地基振動頻率愈大，隔振臺的隔振效率愈高。也就是說，振動傳遞率愈低，隔振效果愈佳。振動頻率比(f/fn)低于1.414時為增幅，數(shù)值為1時固有振動頻率與地基振動頻率相同，高于1.414則實現(xiàn)隔振。隔振臺一般分為線圈彈簧(CoilSpring)和空氣彈簧(AirSpring)兩種，線圈彈...
HERZ是聞名的隔振臺系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時代，極之微細的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的最佳效能，達到最佳成果。從高層次的研究乃至各個行業(yè)的基本生產(chǎn)，要想有效地發(fā)展納米技術(shù)，消除振動尤為重要！在過去的40年里，HERZ已發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的主流供應(yīng)商，在該領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗。與此同時，測量技術(shù)有了很大進步，一些靈敏的設(shè)備會受到被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾，此類干擾唯有主動式隔振系統(tǒng)能夠消除。因此，HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)...
接下來為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續(xù)縮小，對化學(xué)機械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料，可作化學(xué)機械拋光(CMP)磨料，應(yīng)用十分廣泛。因其優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和對具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性，Y2O3被用在許多特殊材料上，例如絕緣體、玻璃、導(dǎo)...
FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)，光學(xué)膜厚儀用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm的行程，可在200-1700nm光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200光學(xué)膜厚儀模塊化厚度測繪系統(tǒng)平臺，集成了先進的光學(xué)、電子和機械模塊，用于表征圖案化薄膜光學(xué)參數(shù)。典型案例包括（但不限于）微圖案表面、粗糙表面等。該機型光學(xué)模塊功能強大，可測量的光...
